某半导集成电路芯片制造厂在晶圆生产制造方式中,在使用硅烷采取硅概念生张,烟气洗滌塔制造高氧浓度含硅废液解决技术。废液解决技术具备pH浮动大(2-11)、硅含铁高的优势,传统性解决技术易冒出硅垢不通事情。
电镀废水因素及原因
电镀废水包括成分表为:
融化性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢被氧化钠
:洗條剂塔酸碱性洗條剂液残余物
粉末硅
:纳米级级SiO₂溶液
痕量砷
:辅料沉渣带
治理工艺技术环节
转型升级选择"有级中合+膜过滤器+蒸馏结晶体"流程:
1级采和
:用CaO自动调节pH至4-5,转换硅酸钙沉积,硅避开率60%。
二级考试中合
:加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进第一步放置累计硅,串联用镁剂除砷。
超滤膜控制系统
:0.02μm瓷器膜筛选nm级硅粒状,通量保持稳定在80LMH。
MVR蒸馏器
:果汁高盐污废水 ,析出出Na₂SO₄副產品,水工业废水处理率超90%。
最终能够郊果
总硅从1500mg/L低于5mg/L下例
砷份量从0.8mg/L降为0.01mg/L
系统软件无积垢加载可超过2年
次年二手回收硫酸钠钠晶胞约800吨