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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导集成电路芯片制造厂在晶圆生产制造方式中,在使用硅烷采取硅概念生张,烟气洗滌塔制造高氧浓度含硅废液解决技术。废液解决技术具备pH浮动大(2-11)、硅含铁高的优势,传统性解决技术易冒出硅垢不通事情。 电镀废水因素及原因 电镀废水包括成分表为: 融化性硅酸盐 :SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢被氧化钠 :洗條剂塔酸碱性洗條剂液残余物 粉末硅 :纳米级级SiO₂溶液 痕量砷 :辅料沉渣带 治理工艺技术环节 转型升级选择"有级中合+膜过滤器+蒸馏结晶体"流程: 1级采和 :用CaO自动调节pH至4-5,转换硅酸钙沉积,硅避开率60%。 二级考试中合 :加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进第一步放置累计硅,串联用镁剂除砷。 超滤膜控制系统 :0.02μm瓷器膜筛选nm级硅粒状,通量保持稳定在80LMH。 MVR蒸馏器 :果汁高盐污废水 ,析出出Na₂SO₄副產品,水工业废水处理率超90%。 最终能够郊果 总硅从1500mg/L低于5mg/L下例 砷份量从0.8mg/L降为0.01mg/L 系统软件无积垢加载可超过2年 次年二手回收硫酸钠钠晶胞约800吨

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