该厂为8厘米晶圆种植线智能化的超注射用水设计，每星期产生含硅废水处置150吨。废水处置中虽无高价属，但硅分量高易积垢，且内阻率需高于18MΩ·cm就能工业企业废水处置。以往处置技术始终无法 要求新颁布法律的《网络工业企业水造成的有机废气废气排污规范标准》（GB39731-2020）很废气排污允许值。 废水处理材质作用 注意影响物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒度分布0.1-1μm） 特俗请求 ：TOC<10μg/L，硼含碳量<5μg/L 饮用水性能特点 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅类化合物性状复杂化 外理方法方法 改革创新用于"梯级膜隔离+电去铁离子"组合起来加工制作工艺 ： 微滤预补救 ：1μm工业陶瓷膜手机拦截大颗粒物硅，通量维系80LMH 阴阳离子更换硅胶粘合剂 ：D201大孔树脂材料选用性吸出硅酸团伙 特殊RO体统 ：一段收废率60%，第二步段选取高脱硼膜构件 EDI电去化合物 ：直流电密度单位2A/m²，坚持消除残存正离子 红外光谱灭菌 ：254nm红外光谱线残留量40mJ/cm² 技术水平优点 联合开发专用工具阻硅剂（生物碳胺类复合材料物），减轻膜环境污染寿命3倍 EDI组件创新技术流道设置，硅删去率上升至99.8% 优酷云硅介绍仪（测量方法範圍0.1-500μg/L）实现了优质设定 正常运行预期效果 经其次方在线检测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含量的从8μg/L降为0.3μg/L 系统性收集率从原40%提高了至68% 膜变更生长期缩短至5年，年正常运行代价降35%