华东某8.5代显示屏的面版制作线,在制作步骤中使用的电子厂级磷酸使用玻璃板柔性板蚀刻,日均发生约200m³高质量浓度含磷废水处理。大型项目让变现90%使用率,且使用污水水质需到超超纯水标准规范(功率电阻率≥18MΩ·cm)。
废液基本成分及主要来源
废气包括以分成几类:首先是高氧氧化还原电位废酸液(磷酸纯度约10-15%),来自于蚀刻机定期进行进行更换的废气;第二是低氧氧化还原电位清洗道路废气(磷酸0.5-1.5%)。废气特色:高温较高(40-45℃),含有进样器锡、钼等彩石硫氰酸盐,TDS约5000-8000mg/L。
解决新工艺具体步骤
创新性主要包括"分类整理收集整理+的资源收购+膜集成式"工艺技术途径:
废酸回报装置
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减压的方法减压蒸馏保护装置收废85%上面的磷酸
空调蒸发器水进去随后加工
低质量浓度生产废水解决线
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采和想法池(NaOH调整pH至6.5-7.5)
管式微滤膜(剔除悬停物)
反侵入软件系统(二级RO回收处理率75%)
电去正离子提升装置(EDI精进行处理)
浓水净化处理单园
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生物结晶除磷(达成鸟粪石结晶)
蒸发掉器进而减轻化
终于效用
投资项目建立磷酸的回收利用率85%,每日一可再生智能级磷酸约3.5吨;水使用率实计以达到92%,使用水电阻值率稳定性在18.2MΩ·cm以下。与以往应急处置玩法相对来说,年节电的药剂直接费用280万美元,避免危险废弃物有量6000吨/年。系统化半工控设备方面高,仅需2个人轮班值班制度。