半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
业务背静
该公司各个企业最靠近吉林省深圳市,具体主要从事高端品牌半导体行业集成块的封装形式测试图片,日排污废容量约200吨。致使生产制造步骤中动用多类化学物质药水,废污水组成成分僵化,包含高盐浓度铜、镍等血本属并且 氯化橡胶漆硅胶粘合剂、光刻胶等充分空气污渍。公司各个企业和原有加工的设施不能提供新出排污准则,现需提高拆除。
电镀废水成分表及由来
真空电镀废水处理工艺
:因素于电源芯片引脚真空电镀工艺技术,包含的铜、镍、锡等高价属正离子,pH值震荡大。
巧妙废水处理
:最主要位于封裝胶凝固、光刻工序,包含丙稀酸光敏树脂、异丙醇、异丙醇等生物碳石油醚。
酸碱度废气
:所产生于晶圆的洗涤和蚀刻制作工序,具有盐酸、浓盐酸、氢氧化的钠等。
除理工艺技术环节
预治理 时段.
酸碱平衡结合
:按照投药系统控制pH至6-9,不要未果解决专用设备蚀化。
水泥混凝土滤渣
:加药PAC(整合氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),彻底清除悬浮物物和部门高价属。
主导解决分阶段
高级工程师阳极氧化
:运用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附难化学降解充分物,COD消除率达70%综上所述。
膜过滤清洁
:反浸入装置(UF)+反浸入(RO)搭配工序,进一个步骤挪用巨资属和分解性有机化学物。
长度治疗价段
亚铁离子互转
:帮着涉及铜、镍亚铁离子,确保留水巨资属占比不高于0.5mg/L。
几丁质酶炭离心分离
:当作后面服务保障,清除残余的氢化物发生器有机化合物物。
最后效率
经补救后,水流饮使用水进行高于《电子器件工业化水环境固体废弃物排污标准》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,中水回用率提高了至60%,第一年得节约使用水进行成本费用约80百万元。